點擊圖片查看大圖碳化硅涂層石墨
SIC涂層石墨具有耐高溫,抗氧化,純度高和耐酸堿鹽及有機試劑等特性,物理化學性能穩定.與高純度石墨相比較,高純石墨在400℃要發生強烈氧化,即使溫度不高,長期應用也因氧化而掉粉末,會依附工件和臺面,因此SIC涂層石墨作為一種新耗材在MOCVD,硅外延設備上代替了高純石墨.
廈門樹賢生產的SIC涂層石墨基座是在高溫條件下使特種氣體釋放出硅,硅和碳直接結合,從而將定形狀石墨材料包裹起來,形成SIC,所形成的SIC牢牢的巴結在石墨基體上,賦予石墨基體特殊的性能,從而使石墨基座表面致密,無孔隙,耐高溫,抗溶蝕,抗氧化. 交貨期請與我們業務人員確認.謝謝!
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