一、氧氣
工業氧氣的生產方法主要有空氣液化分離精餾法( 簡稱空分法)、水電解法和變壓吸附法等。空分法生產氧氣的工藝流程大體是:吸收空氣→吸收塔→壓縮機→冷卻器→干燥器→冷凍機→液化分離器→油分離器→氣體儲槽→氧氣壓縮機→氣體充裝。其基本原理是將空氣液化后,利用空氣中各組份沸點的不同在液化分離器進行分離精餾,制取氧氣。大型制氧機組的研究開發投用,使得制氧能耗不斷降低,并易于同時生產多種空分產品(如氮氣、 氬氣及其它惰性氣體等)。為了便于儲存和運輸, 經液化分離器分離后的液氧,用泵輸入低溫液體儲槽,再經槽車運至各深冷液化氣體充裝站。液氮、液氬也采用此法儲存、運輸。
二、氮氣
工業氮氣的主要生產方法有空分法、變壓吸附法、膜分離法和燃燒法等。
空分法制取的氮氣純度高,能耗低。變壓吸附法制氮技術是采用5A碳分子篩對空氣中的組份進行選擇性吸附,將氧、氮分離制取氮氣,氮氣產品壓力高、能耗低,產品純度能達到標準要求:工業氮≥98.5%,純氮≥99.95%。
三、氬氣
氬氣是大氣中含量多的惰性氣體,其制取方法主要有空分法。在制氧工藝中,將沸點為-185.9℃左右的餾分從液化分離器中分出即得液氬。