台湾博亚特密封技术开发有限公司

进口全氟橡胶O型圈（FFKM）类似聚四氟乙烯（PTFE）材料，全氟橡胶具有优异耐化学性和耐高温性。普通全氟橡胶O型圈工作温度为-250℃~240℃,特殊全氟橡胶O型圈温度可达320℃。

优点：耐热性极好，优异的抗化学特性；缺点：耐低温较差，原料价格偏高，生产难度比较大。全氟橡胶O型圈广泛地运用于半导体产业及信息相关产业所运用, 运用范围包含薄膜制程中之PVC, CVD及蚀刻制程及各种高真空密封制程。

全氟O型圈的沟槽设计

1、进口全氟O型圈的压缩变形量

全氟O型圈的使用经验表明，安装后推荐压缩量为12%-18%，有利于延长密封寿命。过大的压缩变形可能导致O型圈破裂、挤出、特别是当O型圈在高温环境中工作时，此时的热膨胀是主要考虑因素。

当O型圈的工作温度低于0℃的时候，应该使用特别的压缩量，此时安装后推荐压缩量为15%-21%。当O型圈处于循环温度环境，（从低温到高温》149℃）中时，高压缩量存在着潜在的风险，必须在两者之间有一个平衡。

2、O型圈的拉伸

为了获得适当的密封性能即延长密封寿命，安装时拉伸1%-3%是比较适当的，大可到5%。拉伸量过小可能会导致O型圈安装不稳，过大则可能会导致O型圈断裂或承受较高的内部应力（Gow-Joule效应）而导致过早失效。

3、热膨胀

在25-250℃的温度范围内，全氟橡胶线膨胀系数是3.2*10^-4℃^-1。转化成体积热膨胀后全氟橡胶大体上比氟橡胶大75%。当在高温环境中应用时，就必须考虑这个膨胀因素，否则将导致密封件过早的失效。

当设计一个密封系统时，标准的沟槽设计时设计的起点。在多数情况下，沟槽空间或许对全氟O型圈来说是充分的，然而当遇到高温工况时，沟槽体积就可能会满足不了O型圈的膨胀，此时O型圈会从沟槽间隙挤出，或沿着圆周方向将密封件劈开（多数情况下是延分模面裂开）。在遇到这两种情况时，就要考虑增加沟槽体积来适应O型圈热膨胀效应。

进口全氟O型圈的安装

1、润滑

弹性体密封安装过程中，通过使用润滑油脂可以减小磨损和卡咬。一般来说，薄薄的润滑膜对于安装O型圈来说是必须的，因为全氟密封件用于恶劣工况中，润滑油能够提高密封件的耐高温碳化破裂能力。在多数情况下，使用被密封的介质当做润滑油、氟化油，例如：粉末状石墨也可以用作润滑油。即使使用了润滑油，密封件的安装过程也要注意减少对O型圈的损伤。

2、拉伸

大多数全氟橡胶的扯断伸长率在120%-170%。当安装O型圈的时候，必须注意伸长率这个数据，防止超出扯断伸长率而导致O型圈断裂。一般来说，安装O型圈的拉伸程度应控制扯断伸长率的50%以内，如果遇到很难安装的状况时，应先将O型圈置于热水中软化，正确的安装方法可以避免密封件的损伤。