产品描述
品牌/厂家 | 金谷气体 | 化学名称 | 二氯二氢硅 |
产品等级 | 99.9 | 分子式 | 43 |
相对分子质量 | 2 | 物理状态 | 液态 |
含量 | 99.9% | 用途 | 半导体、光纤、化工、电力、机械、光电、食品工业和科研领域。 |
CAS | 3346-89 | 性状 | 无 |
安全性 | 无 | 包装规格 | 无 |
注意事项 | 无 | 储存方法 | 无 |
产地 | 无 |
二氯二氢硅 (SiH2Cl2)
项目名称
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纯度指标(%) | |
二氯二氢硅 |
≥99.7
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杂质含量(ppm)
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一氯甲硅烷(CH5ClSi)
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≤800 |
三氯氢硅(SiHCl3) |
≤2000
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≤300 | |
惰性气体(Inert Gases) |
≤1000
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其他(Others)
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≤2
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包装:采用44L钢瓶充装,也可根据客户需要分装到8L的气瓶中。
用途:用作电子气、外延、化学气相淀积。
理化性质: 二氯硅烷在常温常压下为具有刺激性窒息气味和腐蚀性的无色有毒气体。空气中易燃,100℃以上能自燃,燃烧氧化后生成氯化氢和氧化硅。加热至100℃以上时会自行分解而生成、氯、氢和不定性硅。施以强烈撞击时也会自行分解。在湿空气中产生腐蚀性烟雾。遇水水解生成和聚硅氧烷(SiH2O)4。可溶于、醚和与碱、、起反应。即使接触小量卤素或其它氧化剂也会发生激烈反应。与三烷基胺、吡啶形成加成化合物。与三氟化锑反应生成氟硅烷。
器、氨或本身 注意事项:气体用钢瓶贮装,钢瓶要存放在阴凉干燥通风的室外或强制通风的室内,要远离氧化剂、火源和热源。设备管道等使用前须脱水和密封。可用氦探漏的窒息性气味来检漏。所有设备管道要接地。设备或装置暂时不用或延长停产时间时,应把二氯硅烷放出来,充入干燥的惰性气体。有水分时二氯硅烷呈强酸性,腐蚀性极强。对无水二氯硅烷可用铁、低合金钢、镍钢、铜镍合金、镍、海帕伦、蒙乃尔、银、金、铂、钽。不能用铝、铝合金、铜硅合金、黄铜等。可以用聚四氟乙烯、聚三氟氯化乙烯聚合体、天然橡胶、玻璃、瓷料、石墨等。但是在二氯硅烷可能燃烧的地方避免使用可燃性材料。当发生火灾时,首先要关闭气瓶阀,断绝气源。灭火时,如果用水,则产生大量氯化氢,如果用碱性粉末,则产生,因此这两者都不可用。可以用二氧化碳和砂子。废气可用水或苛性钾等碱液吸收,可以用相应的吸附剂吸附,也可以在严格控制下燃烧。
二氯二氢硅气体